1、合闸状态时的检查
（1）真空断路器操动机构应在合闸位置；
（2）真空断路器主轴滚轮离开油缓冲器；
（3）分闸弹簧处于贮能拉伸状态；
（4）真空灭弧室动触杆留露在导向板下的长度约4~5mm；
（5）真空灭弧室内的波纹管可见(用陶瓷管无此项)；
（6）真空断路器上下支架的示温片应无明显变化。
2、导电部位的检查
（1）上下支架的外部连接螺栓；
（2）上支架固定真空灭弧室螺栓；
（3）下支架导电夹螺栓。上述螺栓不应有松动。
3、传动部件的检查
（1）拐臂与灭弧室动端杆的3根轴，两端挡卡；
（2）拉杆与拐臂的固定螺母及犟母；
（3）6只固定支柱绝缘子的M20螺栓(在真空断路器框架)；
（4）固定真空断路器的安装螺栓；
（5）机构大轴与断路器拐臂的连接螺母及犟母；
（6）传动连接杆的焊接部位有无断裂；
（7）主传动轴的轴销有无松动脱落。禁止将任何东西放在真空断路器上静支架，以防止落下时打坏真空灭弧室。
4、真空灭弧室内部检查
（1）触头烧损情况检查真空断路器灭弧室经过多次开断短路电流后，触头在电弧作用下有烧损，规定电损失不大于3mm，检查方法是测量真空开关管的开距，以此与上次结果作比较；用直流电阻测量法检查回路电阻；测量压缩行程是否有明显变化。触头有烧损后，经过调整满足技术参数要求，仍可继续使用(与其他要求综合判断)。
（2）真空断路器灭弧室真空度检查看真空断路器灭弧室外玻璃(陶瓷)管的外观有无裂纹、破损；真空灭弧室两端焊接面有无明显的变化、移动、脱落；拆开拉杆与拐臂的连接轴销，用手拉动触杆检查其是否能自动返回，使真空灭弧室动触头始终自保持在闭合状态(外部气压使触头接触)，当自闭力很小或不返回时，说明真空度减小。利用绝缘耐压来检验(定性)。如10kV空断路器当绝缘水平低于42kV时，表明真空度下降，应予以更换。
二、真空断路器异常运行时的检查
1、真空断路器的真空室损坏在巡视中若发现真空断路器的真空室损坏，但没有造成接地或短路时，应立即向调度申请将此路负荷倒出，同时打开重合闸连接片。
2、真空断路器在使用中真空度异常
（1）真空断路器是利用高真空的高介质强度作绝缘和灭弧。真空断路器灭弧性能良好，几乎不需要检修，寿命较长，具有频繁操作能力，工作可靠，适宜操作高压电动机、电容器组等户内式6~35kV的高压电器。触头用铜铬材料、额定电流达1000~3150A。额定开断电流可达25~40kA，全容量开断可大30~50次，多配用电磁或弹簧操动机构。真空断路器的灭弧室其真空值必须保证在1.33x10-2Pa 以上，才能可靠地运行，如低于此真空度，则不能灭弧。由于现场测量真空度判别是否合格有一定的困难，因此一般均以工频耐压试验合格为标准。
（2）正常巡视检查时应注意屏蔽罩的颜色应无异常变化，特别要注意断路器分闸时的弧光颜色。正常情况下弧光呈微蓝色，若真空度降低后变为橙红色，应及时申请停用检查，更换真空灭弧室。
（3）造成真空断路器真空度降低的主要原因有:使用材料、气密情况不良；金属波纹管密封质量不良；在调试过程中，行程超过波纹管的范围，或超行程过大、冲击力太大等。
（4）此外，检查超行程减少(即检查触头的磨损量)，当磨损量累计超过规定值(4mm)时，应更换真空灭弧室。
三、真空断路器的常见故障及处理
1、电动合不上闸原因为铁芯与拉杆松脱。调整铁芯位置,卸下静铁芯即可调整,使之手动可以合闸,合闸终了时，掣子与滚轮间应有1~2mm间隙。
2、合闸空合原因为掣子扣合距离太少,未过死点。将调整螺钉向外调,使掣子过死点。完毕,应将螺钉紧固,并用红漆点封。
3、电动不能脱扣
（1）掣子扣得太多。将螺钉向里调,并将螺母紧固。
（2）分闸线圈的连接线松脱。重新紧固接线。
（3）操作电压低。调整操作电压。
4、合闸线圈、分闸线圈烧坏原因为辅助开关接点接触不良。可用砂纸打磨接触点或更换辅助开关；更换分、合闸线圈。
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